**1. 서론 (Introduction)** 기존의 함수해석학 연구는 대부분 벤칭 공간(Banach Space) 내에서의 연산자 행동에 집중해왔다. 그러나 실제 응용 분야, 특히 유동 역학, 금융 모델링, 플라즈마 물리학 등은 발산 공간(Divergence Space)과 같은 비-완전 메트릭 공간(Non-complete Metric Space)에서 정의되는 시스템을 다루는 경우가 많다. 이러한 공간에서는 기존의 확립된 Banach 공간 이론을 직접 적용하기 어렵다. 본 연구는 Banach 공간에서 발산 공간으로의 추이 연산자(Transition Operator)의 고유값 스펙트럼을 분석하고, 이를 통해 해당 연산자가 나타내는 시스템의 장기 행동을 예측하고 제어할 수 있는 새로운 함수해석적 도구를 제시하고자 한다.

**Abstract:** 본 연구에서는 고주파 마그네트론 스퍼터링(Radio Frequency Magnetron Sputtering, RFMS) 공정을 이용하여 다층 박막(multilayer thin films)을 증착하는 과정의 최적화에 대한 심층 연구를 수행하였다. 특히, 증착 변수(가스 압력, RF 전력, 기판 온도)와 박막의 특성(두께, 조성, 결정 구조) 간의 상관관계를 규명하고, 이를 바탕으로 최적의 다층 박막 증착 조건을 도출하고자 하였다. 본 연구는 진공 기술, 플라즈마 물리, 재료 과학의 기반 위에, 실리콘 (Si)과 티타늄 (Ti)을 핵심 소재로 하여, PVD 기술의 현재 수준에서 즉시 상용화 가능한 최적화 기법과 그 효과를 제시한다.

**Abstract:** 본 연구에서는 고주파 마그네트론 스퍼터링(Radio Frequency Magnetron Sputtering, RFMS) 공정을 이용하여 다층 박막(multilayer thin films)을 증착하는 과정의 최적화에 대한 심층 연구를 수행하였다. 특히, 증착 변수(가스 압력, RF 전력, 기판 온도)와 박막의 특성(두께, 조성, 결정 구조) 간의 상관관계를 규명하고, 이를 바탕으로 최적의 다층 박막 증착 조건을 도출하고자 하였다. 본 연구는 진공 기술, 플라즈마 물리, 재료 과학의 기반 위에, 실리콘 (Si)과 티타늄 (Ti)을 핵심 소재로 하여, PVD 기술의 현재 수준에서 즉시 상용화 가능한 최적화 기법과 그 효과를 제시한다.